含氫類金剛石DLC塗層的主要成份是碳,是(shì)一種兼有高硬度與優異摩擦性能的非晶體硬質薄(báo)膜由(yóu)石墨(SP2)與金剛石(shí)(SP3)組成。SP3金剛石的碳原子在空間構成連續、堅固的骨架結構,所(suǒ)以堅硬,成正八麵體(tǐ)晶狀體。SP2石墨的碳(tàn)原子(zǐ)呈平麵層狀(zhuàng)結(jié)構,層與(yǔ)層之間的作用力(lì)小,所以很軟,能導電,有滑感的鱗片(piàn)狀結構此類類金(jīn)剛石(DLC)塗層通常由含氫(H)氣體如乙炔C2H2,甲烷CH4經(jīng)過PECVD的方式(shì)獲得.而且可以在較低工藝溫度下獲得,工藝溫度最低可以低於80°C,從而可以有效解決材(cái)料熱變形等缺陷。
由於其優異的摩擦性(xìng)能,在工業上得到廣泛(fàn)應用。特別(bié)是在無潤滑劑情況下,摩擦係數也很低(µ=0.005~0.2)。含氫類金(jīn)剛石DLC塗(tú)層摩擦係數小,而且抗粘附性好,硬度高、耐磨性優良。
類(lèi)金(jīn)剛石(shí)DLC塗層的特性
薄膜(mó)厚度:<=3um
摩擦係數:0.05~0.1
薄膜硬度:<30GPa (HV3000)
最高使用溫度:350°C
薄膜顏色: 黑色/黑灰色
工藝溫度: 80~150°C
塗層結構: 納米單層/複合
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