由於半導體精密配件(jiàn)球(qiú)閥長期收(shōu)到各類化(huà)學物質腐蝕侵蝕,並(bìng)且在使(shǐ)用過程中容易收到擠壓和摩擦,在使用(yòng)一段時間後,球閥(fá)的為提高球閥的表麵就會出現磨(mó)痕,表麵出現裂痕,所以這樣嚴重影響到球閥的(de)密封性。
如何(hé)提升(shēng)球閥表麵的耐刮性(xìng)且擁有高硬度呢(ne)?
球閥加工廠找到了WCC塗層廠,希望能夠幫忙解決這個問題,WCC塗層是摻鎢含氫非晶碳(a-C:H:W)DLC塗層。與其他元素相比較而言,這種W-DLC塗層數(shù)字較低(通常在幹式(shì)情況下為0.1~ 02),因此具備出眾耐磨損性能以及優異耐轉動接觸疲勞性能。生產的此類W-DLC塗層典型沉積溫度低於160°C, 可以在不軟化熱敏性鋼 (如100Cr6) 的條件下完成其鍍膜過程 。它(tā)的(de)可以讓(ràng)球(qiú)閥(fá)擁有自潤滑性,且摩擦係數小,硬度高,光潔度高,抗刮性(xìng)很強,所以是再合(hé)適不過的(de)選擇了(le)。
我們也做了研究,在(zài)球閥表麵鍍上 WCC下塗層後,它之後在工作中的裂紋情況、稀釋率及硬度研究(jiū)結(jié)果表明,隨著WCC含量升高塗層硬度顯著(zhe)提高稀釋率逐漸降低(dī),且表麵也不會經常因為出現磨痕以及裂痕也影響其使用壽命,目前球(qiú)閥(fá)在表麵增加了WCC膜層後,使用壽命明顯提升了3-4倍(bèi),這大大減少(shǎo)了其重要零部件更換耗時(shí)的生產成本(běn),提升了其生產效率。
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