金剛石、類金剛石（shí）薄膜技術，是指利用各種光學薄膜製作技術製作接近天然金剛石和（hé）人造單晶金剛石，有些範圍光的吸收率低到 1%;具有很高的硬度、良好（hǎo）的導熱性（xìng）、耐腐蝕性以及化學穩定性高（gāo）--1000C(攝氏度)以上仍保持其化學穩定（dìng）性等特性。類金剛石碳(DLC)塗層的主要成分為碳是一種兼有高硬（yìng）度和優異摩擦性能的非（fēi）晶體（tǐ）硬質薄膜，一種非晶亞（yà）穩態結構（gòu），DLC膜的成份主要指sp3鍵和sp~2鍵，還可能含有一些雜質（zhì）相如C-H等

一、DLC薄膜性能

1、機械性能（néng）:高硬度和高彈性模量（liàng）、優異的耐磨性、低摩擦係

2、DLC膜中氫的含量超過40%門限時能獲得很低的摩擦係數，但（dàn）過多的氫存在將（jiāng）降（jiàng）低（dī）膜與基體的結合（hé）力和表麵硬度，使（shǐ）內應力增大。

3、電（diàn）學性能:表麵電阻高化學惰性大光（guāng）學性能:DLC膜在可見光區通常是吸收的，在紅外區具（jù）有很高的透過率

4、穩定性（xìng）;亞穩（wěn）態的材（cái）料，熱穩定性很差， 400攝氏度

二、DLC薄膜應用

1、機械應用

用於防止金屬化學（xué）腐蝕和劃傷方麵，磁介質保護膜

2、電子領域（yù）的應用

ULSI芯片的製造:光刻電（diàn）路板的掩膜ULSI的BEOL(線後端)互聯結構的低K值的材料碳膜和DLC膜交（jiāo）替出現的多層結構構造共振隧道效應的多量子阱結構DLC可作為平麵（miàn）板場發射顯示FED的電子發射器

3.光（guāng）學領（lǐng）域的應用

用在鍺光學鏡片上和（hé）矽太陽能電池上作為減反射膜塑料和（hé）聚碳酸脂等低熔點材料組成（chéng）的光學透（tòu）鏡表麵抗磨損保護層DLC膜（mó）為性能極佳的發光材料之一（yī）: 光學隙帶範圍寬，室溫下光致發光和電致發光率都很高

4.醫學領域的應用

在人工（gōng）心髒瓣膜的不鏽鋼或欽合金表麵沉積DLC膜（mó）能同時滿足機械性能、耐腐蝕性（xìng）能（néng）和生物相溶性要求，人工關節（jiē）承受麵的抗磨層

三、DLC薄膜製備方法

物理氣相（xiàng）沉（chén）積

1、離子束沉積(IBD):采用等離子體濺射石墨靶形成大量的碳（tàn）離子並（bìng）通過電磁場加速（sù）使碳離子沉積於基體表麵形成DLC膜

2、濺射沉積 特點:沉積的離子能（néng）量範（fàn）圍寬，主要（yào）分為: 直流濺射、射頻濺（jiàn）射（shè）、磁控濺射

3、磁過濾（lǜ）陰極弧沉積

4、脈衝激光沉積(PLD):

多功能的工藝方法，可以用來沉積從高溫超導體到硬質塗層等多種不同性質的材料。