類金剛石薄膜(DLC)由於具有優良的光電和力學特（tè）性在工業上具有廣泛的應用前景（jǐng）近年來DLC膜在許多（duō）方麵已得到了工業化應用如在切削刀具自動化機械零（líng）部件等的表麵（miàn）塗層處理上。但是DLC膜的一個致命弱點是內部應（yīng）力很高使得薄膜的附著力特性較差、不易（yì）厚膜化從而（ér）極大地（dì）限製了它的（de）應用範圍。為了改善硬（yìng）質薄膜特別是DLC薄膜的附著力特性，最近（jìn）人們將（jiāng）目（mù）光投向了納米多層膜的（de）研究上（shàng）此法如果能優（yōu）化多層膜的調製（zhì）周期、各塗層種類（lèi）等，可（kě）以兼顧（gù）內應力緩解與薄膜高硬（yìng）度等特性，目前我（wǒ）司DLC加工廠開始引入Ti摻雜對磁控濺射類金剛石(DLC)。

Ti摻雜對磁控濺射類（lèi）金（jīn）剛石(DLC)薄膜附著力及硬度會有什（shí）麽影響？

采用納米劃痕儀（yí）和顯微硬度計分析（xī）測試了薄（báo）膜的附（fù）著（zhe）力和硬度。研（yán）究表明金屬T的摻雜有利於DLC薄膜附著力特（tè）性（xìng）的改善但對硬度有（yǒu）一定的影響。Ti應力緩和層的導入（rù）進一步改善了 T-DLC薄（báo）膜的附著力特性使其（qí）達到或超過了TIN薄膜的水平對於附著力的改善T應力緩（huǎn）和層存在最佳的（de）厚度值采用特殊的變周期多層結構設計即在應（yīng）力集中的膜基界麵附近采（cǎi）用較小的調製（zhì）周期薄膜頂（dǐng）層（céng）附近采（cǎi）用較大的調製周期不但可以保持足夠的附著力（lì）還可維持（chí）Ti-DLC薄膜原有（yǒu）的硬度（dù）。

應力緩和層（céng）對應力的緩解作用與層數,厚度及軟層/硬層（céng）厚度的相對比等間存在著密切的關係。多層薄膜的附著力緩和層的Ti/ TDLC/ TiDLC.特性發現對於具有層厚應力緩和層的 TiDLC多（duō）層（céng）膜其附（fù）著力結果有較大（dà）的差別，這說明應力緩和層具有最合適的厚度，太薄其相對滑動”不能（néng）發揮最大的應力（lì）緩和作用,太厚也不一定有利於附著（zhe）力的提高。