模（mó）具方麵

引（yǐn）腳成形模具：在半（bàn）導體封裝中，引腳成形模具的刀口件會承受（shòu）較大的摩擦和磨損，DLC 塗層具有高硬度、低摩擦係數的特點，可（kě）降低刀口件與引腳材料之間的摩擦，減少磨損，提高模具的使用壽命，保（bǎo）證引（yǐn）腳成形的精度和質量。

封裝模具：半導體封（fēng）裝（zhuāng）模具的成形鑲件和鑲塊在封裝過程中與封裝材料頻繁接觸，DLC 塗層（céng）可以有效防止封裝材料粘附在模具表（biǎo）麵，使脫模更容易，提高生產效率，同時避免因材料殘留而影響產品質量，延長模具的維護（hù）周期和使用壽（shòu）命。

零（líng）部件方麵

晶圓承載台：晶圓承載台（tái）在半導體製造過程中需要（yào）精確地定位（wèi）和傳輸晶圓，DLC 塗層可降低承（chéng）載台表麵的摩擦係數，使晶圓的傳輸更加順暢，減（jiǎn）少晶圓與承載台之間的磨損和劃傷，提高晶圓的加工質量（liàng）和（hé）成（chéng）品率。

夾具和卡（kǎ）具：用於固定和（hé）夾持半導體（tǐ）工件的夾具和卡具（jù），在使用過程中需要保（bǎo）持良好的穩（wěn）定性和耐磨性。DLC 塗層可以提高夾具和卡具的表（biǎo）麵硬度和耐磨性，防止在夾持過程中對工件造成損傷（shāng），同時確保夾具和卡具在長期使用（yòng）後仍（réng）能保持精確的尺寸和形（xíng）狀。

設備部（bù）件方麵

真空腔室部件：半（bàn）導體製造設備中的真空（kōng）腔室部件，如（rú）真空閥門（mén）、擋（dǎng）板（bǎn）等，需要在高真空環境下具有良好的耐磨（mó）性、耐腐蝕（shí）性和低摩擦性能。DLC 塗層可以滿足這些（xiē）要求，減少部件之（zhī）間的摩（mó）擦和磨損，防止腐蝕，保證設備在高真空環境下的正常運行。

傳輸機構部件：半導體生產線上的傳輸機構，如傳送帶、滾輪等，在傳輸半導體材料和器件時會產生摩擦和磨損。DLC 塗層能（néng）夠降低這些部件的摩擦係數，提高耐磨性，減少能量損耗（hào），延（yán）長傳輸機構的使用壽命，確保半導體產品的高（gāo）效傳輸。