一般情況下(xià),DLC 塗層的工作溫度範圍在 - 150°C 到 500°C 之間25。但在實際應用中,不(bú)同工藝和成分的 DLC 塗(tú)層耐溫性有所(suǒ)差異:
常(cháng)規 DLC 塗層
在 300℃以上退火時,DLC 塗層會出現 sp3 鍵向 sp2 鍵轉變,導致塗層性能發生(shēng)變化,其最高(gāo)耐受溫度通常在(zài) 350℃左右。
1.矽摻雜 DLC(Si-DLC):
含 20at% Si 的 DLC 膜在 740℃退火(huǒ)時才出現 sp3 鍵向 sp2 鍵轉變,顯著提高了熱穩(wěn)定(dìng)性。
2.金屬摻雜 DLC(如 Ti、W、Cr 摻雜):
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