塗（tú）層產品在（zài）各個領域都有廣（guǎng）泛應（yīng）用，是常用的固態薄（báo）膜，可以（yǐ）作為防護、絕緣以及裝修等用處，其（qí）製備方（fāng）法主要是選用物（wù）理堆積技能或化學堆積技能將金屬或非金屬化合物塗鍍於（yú）基體材料上（shàng），構成鍍層。不過，塗（tú）層（céng）製造會（huì）產生內部應力，影響（xiǎng）塗層運用，導致失效（xiào）。因此，要采取相應措施消除或削弱塗（tú）層結構內部的應力，避免應力（lì）引（yǐn）起的各（gè）種失效。

一、挑選（xuǎn）合適基體

要消除塗層中的熱應力，根本方法（fǎ）就是選用熱膨脹係數相同（tóng）的塗層和（hé）基體材料。其次是讓成膜溫度與塗層的測量溫度或運用溫度相同。此外，熱應力（lì）作為薄膜應力的一部分，受溫度的影響而易於操控，這樣通（tōng）過熱應力的改動與本征應力互相作用，調整薄膜（mó）的微觀應力，或許起到改進應力（lì）的作用。

二、做熱退火處理

塗層中存在（zài）的各種缺陷是產生（shēng）本征應力的主要原因（yīn）。這些缺陷一般都對錯平衡缺陷，故有自行消失的傾向。但是，要產生消失，需求外界處以活化能。在對塗層進行熱處（chù）理時，外界處以熱能，非平衡缺陷許多消失，因此塗層（céng）內應力明顯下降。

三、添加中心（xīn）塗（tú）層

在塗（tú）鍍多層高反、增透或其它介質膜的過程中，膜料（liào）應力性質相同，這樣就會增大整個膜層的應力，導致塗層（céng）決裂或掉（diào）落。使用應變相消的原理，在膜層與膜層之（zhī）間再堆（duī）積一層薄膜，操控工藝使膜內出現與結構塗層相反的應力狀態，來緩解（jiě）應力帶來的損壞作用。

別的，當基（jī）體和塗層的材料性質不同過（guò）大時，即界麵性質不一致，其互相作用（yòng）就大，這種（zhǒng）作用力有使兩種材料結構類似的作用趨勢，因此塗層內產（chǎn）生很大的變形，構成內（nèi）應力。這種狀況（kuàng）可先對（duì）基體進（jìn）行表麵處理（lǐ），即添加（jiā）亞層，增大表麵的濕潤性，對塗層和基體的結構起到過渡作用，保持結構（gòu）的連續性，然後減小應力。

　四、改動工藝（yì）參（cān）數

堆積過（guò）程中工藝參數的改動會（huì）直接影響薄膜中的剩下應（yīng）力（lì）水平，通過調整鍍膜時的基底溫度、作業氣壓、堆積速率（lǜ）等工藝參（cān）數可以操控薄膜中應力的（de）大小，甚至會改動應力的性質。

例如，對於濺射鍍膜，跟著反應（yīng）腔（qiāng）內濺射氣壓的增大，高（gāo）能離子(粒子)的濃度增大，使得氣體分子安閑（xián）程減小，存在嚴峻互相碰撞的散射現象，然後減小（xiǎo）了氣體分子的能量，原子噴丸效應削弱，增大了堆（duī）積粒子流的傾斜分量，致使膜結構疏鬆，壓應力越來越小，變（biàn）為張應力（lì），張應力先增大再（zài）減小。

五、改進堆積技能

在（zài）磁控濺射堆積塗層過程中，跟著（zhe）射頻源功率的改動，堆積原子的動能也產（chǎn）生改動，界麵分散層結構和膜（mó）層結構的缺陷濃度也（yě）隨之改動。因此，塗層內的剩下應（yīng）力就會產生改動。