類金剛石（shí）DLC薄膜是以sp3、sp2鍵（jiàn）結合（hé）為（wéi）主體，這種結構使得DLC薄膜具有一係列優良的物（wù）理化學性能（néng），如紅外波段透明、硬度高、摩擦係數小、化學性能（néng）穩定（dìng）、熱膨脹係數小（xiǎo）等（děng），從而使該薄膜在光（guāng）學、電（diàn）學、機械、醫（yī）學等領（lǐng）域引起了科研工作（zuò）者的廣泛關（guān）注。目前（qián）DLC塗層應用廣泛，接下來給大家整理一下關於DLC塗（tú）層的應用以及製（zhì）作方式。

一、DLC薄膜的特性及應用 

     DLC薄膜的特殊結構決定了這種薄膜材料具有優良的（de）特性和廣（guǎng）泛（fàn）的應用，主要表現在:

1)較高的硬度（dù）和優異的抗磨損性能，因（yīn）而適合作為硬質工具、軸承、刀具等表麵，不僅可以延長工（gōng）具的壽命，而且還（hái）可以提高（gāo）功效；

2)電阻率高(102Ω·cm~1014Ω·cm)、介（jiè）電常數大、擊穿電壓高。利用這些特點，可將它製成理想的超（chāo）高頻和微波波段的介質材料（liào）；

3)高摻雜性。由於其帶隙寬，有（yǒu）利於高集成化（huà）電子器件在高（gāo）溫條件下使（shǐ）用，因此該薄膜在半導體行業應用廣泛；

4)高頻、高音速特性良好。用DLC塗層製作的高頻揚聲器振動膜頻帶寬，其頻率特性高達60KHz，目前我司（sī）的音膜DLC塗層工藝（yì）已成熟並且量產。

5)具有良好的化學穩定（dìng）性，耐（nài）腐蝕(防酸、堿（jiǎn）、鹽)性能好，不僅可作為光學元件（jiàn）的增透膜和保護膜，防止光學元件被飛砂擦傷或被酸、堿、鹽溶（róng）液腐蝕，還應用於光盤保護膜、手表玻璃保護膜、眼鏡片(玻璃、樹脂（zhī）)保護膜以及汽車擋風玻璃保護膜等；

6)熱導率高，約為銅的6倍（bèi），熱膨（péng）脹係數小，具有好的抗熱衝擊性（xìng）能。

7)具有良（liáng）好的（de）生物相容性，在醫學方（fāng）麵（miàn）也有廣泛的應用。塗（tú）鍍在人工關節上轉動部（bù）位上的DLC薄膜不會因摩擦而產生磨損，更不會與肌（jī）肉發生反應、可大（dà）幅度延長人工關節的（de）使用壽命；

8)DLC薄膜在室（shì）溫下光致發光和電致發光率都很高，有可能在整個（gè）可見光範圍發光，因此可以用作性能極佳的發光材料之一。

二、DLC膜的製備技術

　　自20世紀70年代人們製備出DLC薄膜以來，目前已（yǐ）經開發了許多種沉積方法，但大（dà）體上可以分為物理氣相沉（chén）積(PVD)和化（huà）學氣（qì）相沉積(CVD)兩大類。PVD方法是在真（zhēn）空下（xià）加熱或離化蒸發材料(石墨)，使蒸發粒子沉積在基片表麵形成薄膜的一種方法。按（àn）照加熱方式不同，熱蒸發有激光蒸發、電（diàn）弧蒸發、電子（zǐ）束加熱等方法。濺射沉積是用高能離子（zǐ）轟擊靶物質(石墨)，與靶表麵原子發生（shēng）彈性或非彈性碰撞，結果部分靶表麵原子或（huò）原子團濺射出來，沉積在（zài）基板（bǎn）上形成薄膜。CVD方法是（shì）在真空室內通入碳的氫化物、鹵化物、氧化物，通過氣（qì）體放電，在一（yī）定條（tiáo）件下促使它（tā）們發生分解、聚合、氧化（huà）、還原等化學反應過程，在基板上形成DLC薄膜的方（fāng）法。

a、製備DLC薄膜的 PVD 技術

1. 真空電弧離子鍍
2. 脈衝激光沉積
3. 濺射製備法
4. 非平衡磁控濺射方法
5. 其他沉積方法

b、製備DLC薄膜的CVD技術

1. 射頻等（děng）離子體化學氣（qì）相（xiàng）沉積
2. 直（zhí）流（liú）等離子體化學氣相沉積
3. 熱絲法
4. 直接光化學氣（qì）相沉積法
5. 電子回旋共振(ECR)沉積（jī）法
6. 其他沉積方法