DLC類金剛石碳塗層,是一種SP3(金剛石結構)和SP2(石墨結構)或與氫、矽、氣(qì)和(hé)金屬等元素雜化的人工(gōng)材料。DLC是碳(tàn)膜(mó)材料的(de)統稱,它具有高硬度、耐腐蝕、低擦、絕緣等多種(zhǒng)特性(xìng),其各異(yì)化的性能(néng)取決於結構鍵的比例和(hé)配位鍵元素的種類。
DLC具(jù)有部分金剛石的特性,比工業中使用(yòng)的大多數金屬(shǔ)材料都要硬,是機(jī)械設備中最(zuì)常用的(de)自潤滑(huá)塗層,目前DLC類金剛石碳塗層有以下種類:
a-C=無(wú)氫非晶碳膜(mó)
a-C:H=含(hán)氫非晶碳膜
ta-C=四(sì)麵體(tǐ)無氫非晶碳膜
ta-C:H=四麵(miàn)體含氫非晶碳(tàn)膜
a-C:X=元素摻雜無氫非晶碳(tàn)膜
DLC類金剛石碳(tàn)塗層通常(cháng)厚度為(wéi)1-5微米,DLC表麵硬度一般在1800HV~2200HV之(zhī)間。DLC類金剛石碳塗層裝飾鍍(dù)DLC在1微米以內;但接近0.5微米時(shí),DLC會出現炫彩,或者叫七彩DLC。不同的顏色以及(jí)不同的均勻度,可(kě)以反映(yìng)出DLC的膜厚。
DLC類(lèi)金剛石碳塗層可以廣義理解為SP2和SP3鍵構成的雜化膜係,其中以石墨為靶材,無氫無定形四麵體碳膜a-C,隨著SP3的含量增加,硬度顯著增加甚至到6000HV,但是膜厚因內(nèi)應力原因,通(tōng)常(cháng)在0.3-0.5微米之間(jiān)。但DLC是一個高度可定製的膜係,可以通過改變膜的晶格結構、元(yuán)素參雜和鍍膜(mó)工藝,實現不司屬性的碳膜,如8微米以上超厚DLC和超厚ta-C(硬度通常會(huì)降低到3500HV以(yǐ)下)。
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